Titel :
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DEU-Garching - Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Plasma Ashing System
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2025060501043086341 / 365129-2025
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Veröffentlicht :
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05.06.2025
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Anforderung der Unterlagen bis :
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04.07.2025
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Angebotsabgabe bis :
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11.07.2025
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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38000000 - Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
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DEU-Garching: Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und
Präzisionsgeräte (außer Gläser) Plasma Ashing System
2025/S 107/2025 365129
Deutschland Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Plasma
Ashing System
OJ S 107/2025 05/06/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der
Wissenschaften
E-Mail: Stefan.Filipp@wmi.badw.de
Rechtsform des Erwerbers: Von einer regionalen Gebietskörperschaft kontrollierte Einrichtung
des öffentlichen Rechts
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Plasma Ashing System
Beschreibung: The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for
the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and
descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing
system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control
electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the
hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer
connection.
Kennung des Verfahrens: 5b0523ad-2b6c-48bf-bea6-5c7a87d9e7ea
Interne Kennung: BAdW-WMI-2025-1
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
Gläser)
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ85Z10
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrugsbekämpfung:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Zahlung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schweres berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Plasma Ashing System
Beschreibung: siehe Leistungsbeschreibung.
Interne Kennung: BAdW-WMI-2025-1
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 38000000
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbegrenzt
5.1.6. Allgemeine Informationen
Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen
über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums,
des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).
Kriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Beschreibung: Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung
zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen
Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung
vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen
ausgeführten Leistungen
Kriterium: Eintragung in ein relevantes Berufsregister
Beschreibung: Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot
einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren
Verhalten dem Unternehmen desBieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen
das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 desGesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig
festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach: - § 129 des Strafgesetzbuchs
(Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer
Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische
Vereinigungen imAusland), - § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder
wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oderwegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel
in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz 3 / 5 oderteilweise dazu verwendet
werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2
desStrafgesetzbuchs zu begehen, - § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung
unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte), - § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich
die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in
ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit
sich die Straftat gegen den Haushalt der EU odergegen Haushalte richtet, die von der EU oder
in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und
Bestechung im geschäftlichen Verkehr), - § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und
Bestechung von Mandatsträgern), - den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs
(Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit §335a des
Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), - Artikel 2 § 2 des Gesetzes
zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter imZusammenhang mit
internat. Geschäftsverkehr) oder - den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs
(Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderungdes Menschenhandels). -
Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der
Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB). - Eigenerkl. (gemäß
§ 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass - weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren
Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen
geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat, - das Unternehmen des
Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein
Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung
eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das
Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat, -
weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im
Rahmen der berufl.Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d.
Unternehmens infrage gestellt wird, - weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem
Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung,
Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbsbezwecken oder bewirken, - das
Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o.
Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen
Beendigung, zuSchadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat. -
Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4
SchwarzArbG - Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer
Berufsgen. oder einer vergleichbarenUnfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters - Eigenerkl. ü. d.
Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.
5.1.10. Zuschlagskriterien
Kriterium:
Art: Qualität
Bezeichnung: Technische Spezifikationen
Beschreibung: siehe Vergabeunterlagen.
Kriterium:
Art: Preis
Bezeichnung: Preis
Beschreibung: siehe Vergabeunterlagen.
Beschreibung der anzuwendenden Methode, wenn die Gewichtung nicht durch Kriterien
ausgedrückt werden kann: siehe Vergabeunterlagen.
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 04/07/2025 23:59:59 (UTC+2)
Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch,
Englisch
Elektronischer Katalog: Erforderlich
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Frist für den Eingang der Angebote: 11/07/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit,
Mitteleuropäische Sommerzeit
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 45 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können einige fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: siehe Vergabeunterlagen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 11/07/2025 12:01:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische
Sommerzeit
Ort: Garching, Deutschland
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: siehe Vergabeunterlagen.
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Schlichtungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Walther-
Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Regierung
von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Walther-Meissner-Institut der
Bayerischen Akademie der Wissenschaften
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der
Wissenschaften
Registrierungsnummer: DE811209280
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Stadt: Garching
Postleitzahl: 85748
Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Walther-Meissner-Institut
E-Mail: Stefan.Filipp@wmi.badw.de
Telefon: +48 89289-14201
Fax: +49 89289-14206
Internetadresse: https://www.wmi.badw.de
Profil des Erwerbers: https://www.wmi.badw.de
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Registrierungsnummer: DE811335517
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Stadt: München
Postleitzahl: 80538
Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Zentrale Vergabestelle, IuK
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de
Telefon: +49 892176-2411
Fax: +49 892176-2847
Internetadresse: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt
Schlichtungsstelle
8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: e2933cae-386d-4f10-a4a8-75fc250afd2c - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 04/06/2025 09:31:22 (UTC+2) Osteuropäische
Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 107/2025
Datum der Veröffentlichung: 05/06/2025
Referenzen:
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10
https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ85Z10/documents
https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/
https://www.wmi.badw.de
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202506/ausschreibung-365129-2025-DEU.txt
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